English
中文简体
Español
عربى
Português
日本語
한국어
Глиноземная керамическая монтажная пластина присосок — революционный продукт в области прецизионных систем обработки. Она изготовлена из α-алюмооксидной керамики (α-Al₂O₃) чистотой ≥99,9% в сочетании с пористой структурой, обеспечивающей оптимальное распределение вакуума. По сравнению с традиционными металлическими или полимерными присосками, это керамическое решение полностью исключает риск загрязнения частицами, выдерживая при этом экстремальные температуры (1750 °C при непрерывной работе) и коррозионные среды. Уникальная микроструктура (равномерный размер пор 2–5 мкм, плотность 3,89 г/см³) обеспечивает субмикронную плоскостность (шероховатость поверхности Ra≤0,1 мкм), что делает ее единственной профессиональной платформой для присосок, способной обрабатывать полупроводниковые пластины диаметром 300 мм с точностью присасывания ±0,1 мкм.
- Прорыв в эксплуатационных характеристиках материалов
Термическая стабильность: отсутствие деформации при термоударе до 800 °C и срок службы в 5 раз больше, чем у присосок из сплавов (в условиях высокотемпературного процесса).
Химическая стойкость: потеря веса при погружении в 30% серную кислоту в течение 1 года составляет менее 0,01 г, подходит для работы с электролитом аккумуляторов и процесса химического осаждения из паровой фазы.
Изоляционные характеристики: напряженность поля пробоя достигает 40 кВ/мм, что обеспечивает безопасную работу в камере плазменного травления.
- Инновации в инженерном проектировании
Контроль пористости: пористость 40% достигается благодаря литью геля под давлением, а структура стенок пор толщиной 1–3 мкм предотвращает адсорбцию и деформацию сверхтонких деталей (≤50 мкм).
Интеллектуальная архитектура: встроенный датчик температуры обеспечивает управление температурой в режиме реального времени в диапазоне температур от -196 °C до сверхвысоких температур.
